[讨论]磁控溅射镀膜电子损伤 [复制链接]

各位大佬，磁控溅射镀膜过程中的电子损伤能用什么办法检测出来嘛，电子损伤有什么办法将其消除或者规避掉嘛？

是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ ;{1
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有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 &F.L*M  
有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， NEt_UcC  
属于保密范畴，网上是问不到结果的。 5s:g(gy3BR  

ouyuu:是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ <+: PTG/('  
有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 YXDuhrs}  
有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， Na<);Pg  
属于保密范畴，网上是问不到结果的。 Wux[h8G  
 (2021-12-16 11:58)  L/)Q1Mm  

*mkL>v &  
好滴，谢谢。这个电子损伤主要是溅射沉积过程中产生的电子，包括二次电子，应该不包括静电。

这样…… >~})O&t  
我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。
Tb!jIe  
氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 :~'R|l  
你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？

ouyuu:这样…… KU;J2Kt  
我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 C9n*?Mk:  
氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 s,H }km  
你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？ (2021-12-24 11:13)  r;GAQH}j_  

 BF /4  
好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射

hxn123:好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射 (2021-12-28 23:10)  0iVeM!bM  

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是的。