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    [求助]请问有没有系统介绍镀膜设备的书籍推荐? [复制链接]

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    离线kaulder
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-28
    详细的系统地深入介绍镀膜设备的书籍
     
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    只看该作者 1楼 发表于: 2021-11-28
    现代离子镀膜技术:https://u.jd.com/nKGVaWy
    离线kaulder
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    只看该作者 2楼 发表于: 2021-11-28
    Thank you!里面会详细的讲靶材设计,排气分布,镀膜内部布局这些细致的内容不?
    离线ouyuu
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    只看该作者 3楼 发表于: 2021-12-24
    镀膜设备,其实是各个厂家有各家的独特设计。 3I|3wQ&#(  
    细说的话相当于把自己卖了,还买不了几个钱。 =6=_/q2  
    没哪个厂家会那么傻,最多拿点不重要的出来忽悠一下别人。
    离线shenhan0701
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    只看该作者 4楼 发表于: 2022-06-06
    可以看看东北大学张以忱老师的 真空镀膜设备
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    只看该作者 5楼 发表于: 2022-06-21
    回 kaulder 的帖子
    kaulder:Thank you!里面会详细的讲靶材设计,排气分布,镀膜内部布局这些细致的内容不? (2021-11-28 23:15)  =s'7$D}0.  
    {TL +7kiX/  
    你的这些需求应该没有谁会写进书里的,涉及到各个公司的技术秘密了
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    只看该作者 6楼 发表于: 2022-06-21
    我也感觉不会讲的这么细致