-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-04-02
- 在线时间1761小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
该应用案例描述了具有亚波长结构尺寸的柱型抗反射光栅的严格分析以及一个两步优化。此外,对圆柱直径与高度的影响进行了分析。 XLpP*VH3 7AG|'s['= 1. 建模任务 4"@<bKx 4Nm >5*] fBO/0uW 2. 建模任务:介质参数 P{L=u74b{x fV:15!S[ -luQbGcT3 3. 结构参数 "SF0b jG9C U~
{k_'-i 优化过程中保持不变的参数: 0V%c%]PH .^YxhUH,G 1. 圆柱的水平间距:250nm pjl%Jm 2. 圆柱的垂直间距:125nm 2 a<\4w' 3. 列距:125nm _sjS'*] !U`&a=k 优化过程中变化的参数: {f*Y}/@ AZ:7_4jz 1. 圆柱高度(圆柱直径= ) F<4rn 2. 圆柱直径(柱高来自1中优化结果) ;5a$OM ~z[`G#dU jzvK;*N 4. 3维柱型结构的建模 ;i{B,!# H7O~So*N5 <,.$U\W 9t! d.} VirtualLab为设计3 维柱型结构提供任意选项。 j:9M${~ 在LightTrans 定义的库中可以选择不同的柱型和基底材料。 zal]t$z> 如,可选择矩形柱或椭圆柱。 #h!+b 通过选择足够的柱间距和适当的“列距”,可实现多种横向布局(如矩形或六边形)。 , c.^"5 s"L&y <?) 5. 柱高的优化 &lc@]y8 OqGp|` ~Ps *i]n( 利用参数运行文档,找到最佳的柱高(最低的反射率) 0AZ9I!&i 反射率最低值在维持在~110nm的柱高范围内(对于正入社的TM偏振光)。 m l`xLZN>L ^0,}y]5p 6. 柱直径的优化 _K5<)( ) xL* psj tldT(E6
相似的参数运行可显示最佳的柱直径(考虑到优化柱高)。 .[={Yx0!I 反射率最低值在柱直径~140nm处获得(对于正入社的TM偏振光)。 UBo0c?,4 7KtU\u 7. 优化后柱型光栅结构的结果 tX*@r oRfb4+H& 柱高:110nm ^Z (cVg 柱直径:140nm Zy0M\-Mn 2:LUB)&i 8. 角度关系的分析
D2e-b Y A.&ap {uDW< |