本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 +`x8[A)-
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在PMMA上镀CR3C2 ##!)}i
通的气体是AR,C2H2 )[>b7K$f
分光:75%`T ccJ@jpXI
不导电\ x.+}-(`W#~
黑色 <Dw`Ur^ X5
机器:磁控溅射 [2!K 6
#<bt}Tht
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 451r!U1Z
但做出来不是黑色,而是黄棕色, !z;a>[T'
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? )BY\c7SG
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? Vet7a_
KFd"JtPg
谢谢!!