本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 /F9lW}pd
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在PMMA上镀CR3C2 =Bqa<Js
通的气体是AR,C2H2 Y/I6.K3
分光:75%`T DWxh{h">
不导电\ |Ie`L("
黑色 M4PUJZ]
机器:磁控溅射 4W-+k
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本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 ,%G2>PBt
但做出来不是黑色,而是黄棕色, [cAg'R6
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? b1^Yxe#L
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? *K^O oS
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谢谢!!