本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 LP5eFl`|T
@D. R0uM
在PMMA上镀CR3C2 lH#@^i|G
通的气体是AR,C2H2 /3)YWFZZc
分光:75%`T ATYQ6E[{MV
不导电\ D%c7 J K
黑色 5]4<!m
机器:磁控溅射 tz\+'6NpOb
$$2S*q Y
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 d8Q_6(Ar|
但做出来不是黑色,而是黄棕色, $\YLmG
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? ;4-p upK~%
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? AmT| %j&3
33#7U+~]@
谢谢!!
