本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 l.juys8s
{;E/l(HNI
在PMMA上镀CR3C2 57>ne)51
通的气体是AR,C2H2 (n/1:'
分光:75%`T o;mIu#u
不导电\ *
2%e.d3"M
黑色 (0Cszm.
机器:磁控溅射 4QNR_w
d@tr]v5 B
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 <3}l8Z
但做出来不是黑色,而是黄棕色, j%;)CV
G"
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? ];;w/$zke
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? y7OG[L/
Ak Tw?v'
谢谢!!