本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 yVd}1bX
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在PMMA上镀CR3C2 o= VzVg
通的气体是AR,C2H2 8'J"+TsOW
分光:75%`T ]pi"M3f_
不导电\ ^(7<L<H
黑色 Sw HrHj
机器:磁控溅射 1,,kU
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本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 0<"4W:
但做出来不是黑色,而是黄棕色, @q0\oG4L
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? ximW!y7
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? q_PxmPE@3v
Z,AF^,H[
谢谢!!