本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 2UJj Yrm
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在PMMA上镀CR3C2 #Z>EX?VS:
通的气体是AR,C2H2 o/5loV3 h
分光:75%`T yEB1gYJB
不导电\ c #Y W>(
黑色 P{gy/'PH,
机器:磁控溅射 | ;k@Zlvc
HH3Ln+AWg_
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 w_lN[u-L
但做出来不是黑色,而是黄棕色, "[t b-$ER
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? A-om?$7
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? 1NQ stmd{
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谢谢!!
