本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 Jz' 8|o;^
h?2 :'Vu]
在PMMA上镀CR3C2 pxO ?: B
通的气体是AR,C2H2 'UL"yM
分光:75%`T f/K:~#k
不导电\ z\Y-8a.]
黑色 SPU_@ Pk
机器:磁控溅射 @(Y+W2Iyy+
ziBg'
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 ~pj/_@S@x
但做出来不是黑色,而是黄棕色, ,T3_*:0hk!
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? K h;jiK !
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? 6=xbi{m$
p? +*R@O
谢谢!!
