本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 "*U0xnI
x/fhlf}a}=
在PMMA上镀CR3C2 qw?Wi%t(x8
通的气体是AR,C2H2 GyC/39<P
分光:75%`T kk`K)PESi
不导电\ '2S/FOb
黑色 X!b+Dk
机器:磁控溅射 9T\uOaC"
K N Y
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 { 4 n
但做出来不是黑色,而是黄棕色, %nS( >X<B
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? JpRn)e'Z
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? m/e*P*\ =
AZ9;6Df
谢谢!!
