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均匀化的概念 >? o5AdZ ] ,AtR1k VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： idBd aZg • 微透镜阵列 Z^]Oic/0Oa • 衍射扩散器 fV9+FOZn • 计算机生成的全息图 R:P), • 相位板 ,ng/T**@G • 单元阵列 zx)} XOYf
[W$x5|Z}Q 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 xe OfofC(l
光学仿真和设计包括: W\Il@Je; • 衍射 "o%okN • 干涉 N]8/l:@ • 空间和时间相干度 n{|j#j • 像差 /p;OZf] • 偏振 k'.cl^6Z8 • 光强 e8SAjl"}
DFfh!KKR$ 应用 eOVl n1a
Lniz>gSc 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： V#59 9- • 信息显示 JWu0VLo • 测量系统 z+fy&NPl • 室内照明 e}gGl<((g • 汽车 Lz9|"F"V • 军事 Aa-OMo;~ • 光刻 ! j6Cvcl T
Y}}1]}VIK 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 |p/[sD+M 优点Benefits q% s<y +
!K.)Qr9 V 微光学元件的照明系统有以下几大优点： v*y,PY1* • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. fuf' r>1n • 产生任意的二维图案. abe5 As r • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. ^~B#r # • 非常紧凑的照明系统. 2e,cE6r  <@>icDFEHn 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： =?M{B1;H
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. )CH\]>-FO
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. pcQzvLk
• 可以产生一般的二维图案. YFcMU5_F
• 单色光和白光的整形. mg3YKHNG
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. 0 4ceDe
衍射扩散器 ],<pZ1V;
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： O8*yho
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. _P_R`A)"
• 生成任意的二维图案. ~c,+)69"T
• 仅用于单色LED或准分子激光. V'N]u (^
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 :Mu]* N
单元阵列 30cb+)h(
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： wx/*un%2
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. x1+ V
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. Cj)*JZV G
• 产生任意的二维图案. ~ Ctq
• 用于单色光和白光. (Ixmg=C6y
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 k
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