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均匀化的概念 0 J S?; fk X #dmo/L8 VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： OKZV{Gja • 微透镜阵列 g'f@H-KCD • 衍射扩散器 N];NAMp • 计算机生成的全息图 ldcqe$7, • 相位板 ;}WeTA_ -[ • 单元阵列 GAzU ?a{S
^0 )g/`H^> 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 SGRp3,1\4%
光学仿真和设计包括: %`r$g[<G • 衍射 %Xd[(Q) • 干涉 Y Uc+0 • 空间和时间相干度 JG. y,<xW • 像差 M^Yh|%M • 偏振 bP#:Oi0v` • 光强 \w>y`\6mX
"Y.tht H 应用 2|y"!JqE1
m 0C @G5 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： hag$GX'2k • 信息显示 @7c?xQVd$ • 测量系统 !n!*/[}X • 室内照明 ,t7 44k') • 汽车 2nObl'ec • 军事 g =hg%gRy" • 光刻 M?49TOQA
j_[tu!~ 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 octL"t8w 优点Benefits A2FYBM`Q&D
sdrfsrNvB- 微光学元件的照明系统有以下几大优点： @{e}4s?7od • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. tj S@meT • 产生任意的二维图案. By,eE TU] • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. [aLI
' • 非常紧凑的照明系统. ,Vax&n+ J  xa*hi87L* 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
QL/(72K
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： bWS&Yk(
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. A@('pA85
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. xH,a=8&9
• 可以产生一般的二维图案. E=Bf1/c\
• 单色光和白光的整形. { uF O/
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. fb vL7*
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衍射扩散器 w.o@7|B1N
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： N>1em!AS
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. e>OoyDZ@R
• 生成任意的二维图案. }v{LRRi
• 仅用于单色LED或准分子激光. Qel 9G($=
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 G!##X: 6'
单元阵列 @1j
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： =XQ%t
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• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. Rp7mh]kZ
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. Dy&i&5E.-l
• 产生任意的二维图案. ]/6z;
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• 用于单色光和白光. 3=[mP, pLh
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 G_JA-@i%
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QQ：2987619807 /N .b%M] !
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