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均匀化的概念 t5O '7x vH1IVF"DS VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： \f~m6j$D_ • 微透镜阵列 Td,2.YMQ • 衍射扩散器 [B~*88T • 计算机生成的全息图 Wo)$* ? • 相位板 2<$pai"yl • 单元阵列 m\zCHX#n
co^bS;r 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 ^IQtXae6M
光学仿真和设计包括: Fnqj ^5 • 衍射 To/6=$wto • 干涉 qwhDv+o • 空间和时间相干度 5Z;i K(>IX • 像差 HxU J 0Q • 偏振 z)%Ke~)<\@ • 光强 } H#C<:A
d1jg3{pwA 应用 K;8{qQ*
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用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： )FQxVT,. • 信息显示 uNKf!\Y • 测量系统 @LSfP • 室内照明 "+XF'ZO • 汽车 oU l0w~Xn • 军事 g)dKXsy(F • 光刻 g"{`g6(+
8|JPQDS7 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 >o:y.2yCe 优点Benefits [n]C
h\T}$jgfWm 微光学元件的照明系统有以下几大优点： QLxe1[qI • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. E]w2
{% • 产生任意的二维图案. M{z&h> • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. ,_K y'B • 非常紧凑的照明系统. .(^%M
2:6  C5,\DdCX, 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： ilRPV'S^
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. s Wyx_
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. %45*DT
• 可以产生一般的二维图案. o,r K8x
• 单色光和白光的整形. _U|rTil
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. ;.66p he
衍射扩散器 |.OS7Gt?
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： QsX`IYk
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. :FUxe kz
• 生成任意的二维图案. BN&eU'Dl]
• 仅用于单色LED或准分子激光. A(9$!%#+L
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 yxtfyf|9 '
单元阵列 w1EB>!<;tj
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： lSfPOx ;*
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. ),>whC tsI
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. : *M2@
• 产生任意的二维图案. ')T*cL Q><
• 用于单色光和白光. vL#I+_ 2
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 >u\'k +=
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QQ：2987619807 gj7'4 3
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