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(E'f 'g
均匀化的概念 +9S_H( T v d=EO VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： EeW %5/; • 微透镜阵列 EZ+_*_9 • 衍射扩散器 yQkj4v{ • 计算机生成的全息图 2yYq/J • 相位板 pNY+ E5 • 单元阵列 lM1Y }
1aC ?*,e? 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 7O3 \
光学仿真和设计包括: 01md@4NQ • 衍射 TCW[;d • 干涉 P
I gbeP • 空间和时间相干度 yFp8 > • 像差 %]/O0#E3Kz • 偏振 %xE9vN; • 光强 :Oz! M&O v
F1s kI _! 应用 #!,tI d
H-gq0+,yE 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： E 9=a+l9 • 信息显示 N
O|&nqq,> • 测量系统 t/? x#X • 室内照明 :OC`X~}Rc • 汽车 l`s_Id# • 军事 VH&6Tm1 • 光刻 X|Gsf=
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;)s 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 !C& !Wj 优点Benefits vAW+ ,Rfj
k@qn' Zi 微光学元件的照明系统有以下几大优点： =;(w Bj • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. KNtsz[# b • 产生任意的二维图案. K8 Y/sHl • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. !^ko"^p • 非常紧凑的照明系统. 8 Zy`Z  D'y/ pv}! 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： F?]nPb|
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. tWkD@w`Lnn
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. [ F id
• 可以产生一般的二维图案.
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• 单色光和白光的整形. @}&o(q1 M0
 y:Ycn+X.
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. HhfuHZ<
衍射扩散器 Yc+0 OBH[
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： 0( fN
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. !Kv.v7'N/k
• 生成任意的二维图案. ,@2 d <d]
• 仅用于单色LED或准分子激光. 0*?~I;.2m$
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 - P+( =U
单元阵列 ^Xjh ?+WM
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： Fxwe ,
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. ?YR/'Vq97
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. $0rSb0[
• 产生任意的二维图案. a@_.uD
• 用于单色光和白光. SJhcmx+
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 [G{{f
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QQ：2987619807 N NC@?A7
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