[分享]衍射光学元件的产生及其结构数据的输出 [复制链接]

本案例计算从传输中得到的衍射光学元件的高度分布和结构数据的产生 6M6r&,yRu  
关键词：衍射光学，衍射光学元件，结构数据，GDSII，ASCII，位图 z4s{a(Tsd  
所需工具箱：Diffractive Optics Toolbox Basic；Tutorial在试用版本中不可用。联系LightTrans或者当地经销商可申请一段全版本的试用。 xU;Q~(  
相关Tutorials：DO.1; DO.2; DO.3; DO.4; DO.5; DO.7; LBS.1; LBS.2 $G#)D^-5G  
8^qLGUxz  
建模任务 ByW,YKMy  
4nD U-P#f  
tzG.)Uqs  

5NhwIu^<  
fsV_>5I6  
照射光束强度               衍射扩散器                                              产生的光图样强度 (x8D ]a  
0t0m?rVW  
建模任务 Si=u=FI1e  
x|A{|oFC  
@l&>C#K\  
2       扩散器参数： }
&/_ S  
—相位层：4 Kw&t\},8@  
—像素尺寸：830*830nm LVNJlRK  
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—口径：1*1mm Qr]`flQ8  
—周期：664,83*664,83um ?&$BQK  
2       结构数据输出为二进制格式 ; Ne|H$N  
2       需要的高度分布计算 W
[oQp2 =  
2       蚀刻掩模分解 m 3"|$0C~  
2       蚀刻掩模输出为位图和GDSII文件 h$a%PaVf  
cDLjjK7:   
j# !U6T  
打开光学扩散器系统 {h}e 9  
-i"?2gK  
5VK.Zs\  
nB#XQ8Nzx^  
2       DO.008_Generation_of_DOE_Fabrication_Data_01.lpd. 6e:#x:O  
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s92SN F}g  
2       文件在VL_Samples文件夹中 Et+WLQ6)  
O",*N  
光学扩散器系统 W3 2]#M=  
Tj,1]_`=V$  
T8-,t];i  
I@o42%w2  
n_MY69W  
2       点击Go!按钮开始模拟扩散器系统. "DU1k6XC  
模拟结果 rCgoU xW`  
NT<vs"<B  
/nVGr]t_pj  
b&E9xD/;r  
2       扩散器系统产生的光图样强度分布 xPorlX)zW  
-DE?L,9X9  
传输器提取 GilmJ2<  
;TTH  
2       双击光路径图中的Stored Transmission打开编辑对话框 @_C?M5v  
传输器(transmission)提取 <~R{U>zO  
[vyi_0[  
5BB:.  
|Y]4PT#EE  
2       点击Show按钮显示光路中的transmission. zpBkP-%}E  
?S~j2 J]
 
扩散器传输 jP"l5  
<5:`tC2  
Zsx\GeE%:  
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Z/Bzy@|  
2       点击Cancel按钮 [7@9wa1v!  
NX9K
%J  
J0O wzO  
结构数据的产生 %Ae
43  
VDy\2-b8d  
>Eqr/~Q  
F<LRo}j"9Q  
\O(~:KN  
Ue2%w/Yo  
2      点击窗口上部以激活窗口 XCUU(H  
6Dz N.fz  
2       点击设计菜单中Structure Design R.$1aqA}  
o2e gNTG  
结构数据的产生 `T(T]^C98  
(hFyp}jkk  
|h* rkLY  
2     该结构设计对话框计算采用薄元件近似的传输相位得到的高度分布 {'$+?V"&  
.}ePm(  
2     近似对于大于5个波长的有效。对于越小的越不精确。 Z,}c)  
2     选择Target File Export以产生结构数据 e]q(fPK  
\:D"#s%x  
结构数据的产生 o* C_9M  
=@y ?Np^A  
#[ ?E,  
Ic')L*i7O  
对话框可以计算微小结构透明板和镜面. ?:+sjHzXT  
2   选择Height Profile of Transparent Plate. =--oH'P=M  
结构数据的产生 G%5ZG$as  
K0C3s  
2 设置正确的衬底和覆盖材料 s>c0K@ADO  
2 点击 83g$k 9lG.  
Set按钮 ibn(eu<uW  
结构数据的产生 xnvG5  
35/K9l5  
jU0E=;1  
2         对话框显示所有打开的材料文件的菜单 2         如果没有想要的材料文件打开，点击 W|4h;[w  
Q]hl+C$d"/  
Load from Catalog 按钮从catalog中得到材料. GiS:Nq`$(  
N97
7F$Bo  
(L'|n*Cr  
结构数据的产生 U\GuCw  
nR`)kORc  
0AD8X+M{P  
2       选择材料目录Miscellaneous ?'RB
'o~  
gnN"6r1  
2       选择材料PMMA Q.} guI\  
E(g$f.9  
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7^W(es