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;eB ~H[S/ 1.Horos—光学粗糙度传感器。 x4a:PuqmGG 2.测量样本。 8_\W/I!7b 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 I12KT~z<r 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 -[#n+`M 1ywU@].6J] 系统简介 +zOOdSFk. WNa0, 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 ? S=W& D>T],3U(H 特征及技术参数 ySNV^+ =)<3pG O - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 J>S3sP - 灵敏度R_q<0.5 nm 9 |:^k. - 测量时间: < 1 s。 [!*xO?yCJ - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 (hZ:X)E> hY\{| L0h
G 传感器: Mn^zYW|( /-*hjX$n Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 d;suACW /r$&]C:Fi 应用: +$beo2x6 r:.uBc&_ 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: ?s{C// - 平面或复杂(自由形状)表面。 ?AsDk ~3 - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 D,W\ gP/h% - 机械零件。 mb\t/p - 汽车工业。 0'ZYO.y 0g(6r-2)7 =&NOHT> QQ:2987619807 H*U`
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