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1.Horos—光学粗糙度传感器。 Q,#
) 2.测量样本。 )c:i 'L 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 06FBI?;|= 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 2nL [P#r N<lO!x1[H* 系统简介 XN@F6Gj
nwOT%@n w 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 6PF7Wl7. UQ mdm$. 特征及技术参数 'rZYl Qm
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Ufd\ - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 i /j
DwA - 灵敏度R_q<0.5 nm FwB }@)3 - 测量时间： < 1 s。
F'!pM(+ - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 To_Y
8 G hmfO\gc}y #b z#&vt$ 传感器： #nTzn2
F|,_k %QP Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 vkFq/+'U Sn(e@|!G 应用： oa4{s&d b-
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： ^lB=O - 平面或复杂（自由形状）表面。 T1\LS*~! - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 Ka EL* - 机械零件。 /I`A wCx - 汽车工业。 ?pE)K<+Zkf nY]5pOF:
?Xdb%. QQ：2987619807 Rm i4ZPb.
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