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1.Horos—光学粗糙度传感器。 _L"rygit 2.测量样本。 J[9jNCq| 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 6>l-jTM 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 )2a!EEHz nX 系统简介 }MoCUN)I
|(w x6H: 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 &Z9b&P j*P@]&e7d 特征及技术参数 9Y7 tI3
/%.K`BMN - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 0j3j/={|.1 - 灵敏度R_q<0.5 nm '+`CwB2 - 测量时间： < 1 s。 M+Dkn3bx - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 ]^s4NXf+ R^D~ic
N :r|dXW 传感器： ;Eck7nRA )
t hS#fO4]d Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 b+{,c@1rd 7%aB>uA 应用： }O_6wi
ZV&=B%J bs
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： ~=}56yxl[ - 平面或复杂（自由形状）表面。 2f4 *r^ - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 <n0-zCf - 机械零件。 "ibKi= - 汽车工业。 J`\%'pEn X^"95I c
w)hJ0k QQ：2987619807 bE0cW'6r
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