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Ki;5 =) 1.Horos—光学粗糙度传感器。 pytfsVM 2.测量样本。 ,5uDEXpt{ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 @_ZWP 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 c;}n=7,>:L >Mw =}g@P 系统简介 b=\3N3OX :Zo2@8@7 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 W%Q>< 'c z( [ $,e\ 特征及技术参数 &n kGdHX/a &-Er n/[ - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 ;QD;5
<1 - 灵敏度R_q<0.5 nm 3zF7V:XH - 测量时间: < 1 s。 Qh%vh;|^ - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 3"D00~ ~M1%,] Yx c >+mx 传感器: y+R$pzX #|E. y^IC Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 t1s@Ub5);I W?Abx 应用: &Sp:?I- 4<Y[L'UaA@ 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: |noTIAI - 平面或复杂(自由形状)表面。 =DwH*U/YR - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 *X5LyO3-gP - 机械零件。 [/j-d - 汽车工业。 cNCBbOMr )PNk
O3 wb"t:(>& QQ:2987619807 j'cCX[i
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