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}0*@fO 1.Horos—光学粗糙度传感器。 )r?}P1J7 2.测量样本。 2RX;Ob_ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 HyQJXw?A: 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 e2Pcm_Ahv* {w O|)| 系统简介 yxQ1`'[CR ?4} h&/ 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 ub0.J#j@ sE<V5`Z= 特征及技术参数 Q$W $)i")=Hy - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 05#1w#i - 灵敏度R_q<0.5 nm &BLJT9Frx - 测量时间: < 1 s。 gs[uD5oo< - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 k"%~"9 eKgBy8tNS0 -);Wfs 传感器: +o{R _ #Vt%@*
i Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 B]wk+8SMY. 2wg5#i 应用: xt*
3'v Kk0g0C:"EO 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测:
x+:UN'"r - 平面或复杂(自由形状)表面。 {lDd.Fn - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 IPKbMlV#d - 机械零件。 9&2O9Nz6 - 汽车工业。 ]cWUZ{puRB VcYrK4 dL 1tl QQ:2987619807 u%KTNa0
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