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yaD_c; 1.Horos—光学粗糙度传感器。 wVms"U. 2.测量样本。 ,4&?`Q 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 v==b.
2= 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。
!8V V{yP/X
系统简介 !lk
-MN. X5hamkM*m 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 w#!^wN i:coNK)4 特征及技术参数 C=&rPUX{ 25zmde~ w - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 1K`7 - 灵敏度R_q<0.5 nm AJ0
;wx - 测量时间: < 1 s。 3?+CP-T-j - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 knsTy0] */7+pk( ZVin+ z 传感器: 2`?58& "nzQ$E>?$ Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 Ac2,A> XJ3p< 应用: FZ0wtS2 Gz,?e]ZV 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: 5>e#SW - 平面或复杂(自由形状)表面。 B,_/'DneQK - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 z3bRV{{YqN - 机械零件。 2.>WR~\ - 汽车工业。 a^ __Z3g, Mkj` .EF(<JC? QQ:2987619807 t{ R\\j
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