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B^H4Q
4- 1.Horos—光学粗糙度传感器。 cLn; ,u4 2.测量样本。 yVT&rQ"{ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 hJecCOA)' 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 mluW=fE T:be 9 5!, 系统简介 3Wjq >\ Ti hnSb 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 ~u};XhZ B.V?s,U 特征及技术参数 joxS+P5# su,`q - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 Ga]47pQ"F - 灵敏度R_q<0.5 nm cR,'o'V/ - 测量时间: < 1 s。 c]GQU - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 >/(i3) eVJ= .?r CR%D\I$o 传感器: MomLda
V9Q !>CE(;E>z Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 FX{~"
s.|!Ti!] 应用: C/SapX &B?@@6 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: -L+\y\F - 平面或复杂(自由形状)表面。 @~JB\j9 - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 7bctx_W&6 - 机械零件。 oxUE79 - 汽车工业。 >`<Ued X(4s;i v]B0!k&4. QQ:2987619807 7xX;MB&
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