左图:角分辨光散射测量仪ALBATROSS;右图:532 nm滤光片在不同波长下的ARS分布。
qsFA~{o. 系统简介 N!;Y;<Ro_
r0QjCFSF= ALBATROSS(3D-Arrangement for Laser Based Transmittance, Reflectance and Optical Scatter measurement )是一个大型的测量样本反射光,透射光,以及散射光分布的实验室测量系统。其特点是对角度的灵敏度高,并且该系统可以测量三维空间中的散射分布。被测样本包含光学和非光学表面以及其他光学材料和光学元件。其光源系统为变频OPO激光,也可测量光散射的光谱特性。 ,e>C)wq; Opmb 特征及技术参数 F$ Us! NN
%kNkDI - 可测量参数:散射光(角分辨散射ARS,双向反射分布BRDF,
.EH^1.|v - 双向透射分布BTDF,散射损耗),θ-2θ测量,反射,透射。(3D) i[d-n/) - 入射光与探测器可共面或异面。 ix^:qw; - 入射角,散射角(方位角和极角)以及光源的偏振态均可调整。 `(=)8>|e - 可对样品进行扫描。 0$&Z_oJ - 动态范围: 13个数量级。 H` Q_gy5Z( - 最低ARS级别:5×〖10〗^(-8) 〖 sr〗^(-1)。 xm~ff+(&@S - 对粗糙度的最小分辨率:< 0.1 nm 。 60~{sk~E - 波长范围:225 nm 至 1750 nm (光谱带宽<0.05 nm)。 (W3R3>; - 样本规格:最大尺寸直径700mm。 9|jIrS%/~ - 方便操作的测量及分析软件。 *|$s0ga C - 可分析值: 粗糙度,PSD等。 @Qruc\_ %S>lPt 应用 -sO EL{
:@_CQc*yB 对表面,薄膜以及材料性质进行表征和分析 ]ZO^@sH - 产品质量检测。 I=f1kr
pR - 光学性能分析。 @[zPN[z. - 粗糙度分析。 BAmH2" @z
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