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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 89 m.,  
    :0%[u(  
    任务/系统说明 YVF@v-v-,  
     = v?V  
    u&={hJ&7  
    4Hyp]07  
    亮点 3:$@DZT$  
    9_svtO]P  
    nzAySMD_  
    RFe># o  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) OUN~7]OD%  
     严格分析光栅衍射效率 |Om][z  
     考虑入射光的方向分布 *h?}~!AjY  
    )Mflt0fp  
    说明:光源 d5 ]-{+V+  
    n]w%bKc-9  
    peS4<MqWu  
    nip*Y@-F  
    说明:光束分束器 I%[Tosud<  
    07(LLhk@d  
    2C"i2/NH'  
    &,Rye Q  
    说明:检测透镜系统 u@Ni *)p`  
    &Nr+- $  
    v?nGAn  
    eUu<q/FUMj  
    说明:微型晶片 ^^uY)AL  
    :*l\j"fX5  
    3h o'\Ysu/  
    ZX+0{E8a  
    说明:检测物镜 Om7 '_}  
    h3\(660>$  
    n sN n>{  
    pK>/c>de  
    说明:探测器 gm:Y@6W  
    #QOb[9(Tu(  
    h^WMv *2  
    h6`VU`pPI  
    结果:3D光线追迹(只有0级) ^{8CShUCv  
    #MMp0  
    :$X dR:f}}  
    RSM+si/  
    结果:3D光线追迹(所有级) Y!(w.G  
    fpzEh}:H\  
    ^MhMYA  
    vON7~KA  
    结果:光线追迹 KeyHxU=?  
    YD~(l-?"  
    p NQ@aJ  
    /bC@^Y&}  
    结果:场追迹 :.-KM7tDI1  
    cqb6]  
    oq>jCOVh  
    {pRa%DF  
    结果:线性偏振光的场追迹 I[ 06R  
    YAi@EvzCVy  
    QS,_=< (  
    ~( rZ)  
    文档和技术信息 E%f!SD  
    u VUrg;>  
    6k7x7z  
    0*uJS`se6Z  
    zJ8jJFL+Y  
    QQ:2987619807 4;IZ}9|G  
     
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