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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 XQI. z7F  
    G-5wv  
    任务/系统说明 Ps<6kQ(  
    ;=.i+  
    3I|&}+Z6  
    tCkKJ)m  
    亮点 d=?Kk4Ag  
    a(|YLN  
    [=Qv?am  
    Y\CR*om!W  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) /]0-|Kg+R  
     严格分析光栅衍射效率 "rnZ<A}  
     考虑入射光的方向分布 qx#k()E.U  
    >FrF"u:kM  
    说明:光源 &c;@u?:@S  
    WD"3W)!  
    <p_r{  
    G$hH~{Y$  
    说明:光束分束器 +kh#Jq.  
    <:v2 N/i  
    F%Te0l  
    xR9<I:^&  
    说明:检测透镜系统 gY)NPi}!`  
    wI\ n%#  
    Z^Y_+)=s  
    XaFu(Xu7  
    说明:微型晶片 - v\n0Jt  
    %}t<,ex(yO  
    {Q/XV=  
    <IiX_*  
    说明:检测物镜 d E0 `tX  
    ]QB<N|ps  
    <2{CR0]u  
    [^iQE  
    说明:探测器 1e Wl:S}  
    AsBep  
    SV-M8Im73z  
    D%tcYI(  
    结果:3D光线追迹(只有0级) "rV-D1Dki  
    zn5U(>=c  
    + ?z=,')  
    (:JX;<-  
    结果:3D光线追迹(所有级) UIhU[f]  
    ".n,R"EF  
    :/F=j;o  
    p i ;,?p-  
    结果:光线追迹 Z/y&;N4  
    =Gka;,n  
    _?9|0>]xG  
    a4zq`n|3U  
    结果:场追迹 ?*2DR:o>@  
    Mqy5>f)  
    0?]Y^:  
    8M{-RlR  
    结果:线性偏振光的场追迹 o\n9(ao  
    ?CaMn b8  
    pS1f y]  
    6 WD(  
    文档和技术信息 7~gIOu  
    8T:?C~"  
    d0@&2hO  
    KW3Dr`A  
    ; O6Ez-"  
    QQ:2987619807 yvPcD5s5  
     
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