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成像系统>包括光栅 f?@M"p@T e)L!4Y44K 任务/系统说明 d%!yFix;< bDegIW/'w  I'<sJs*p xKT;1 (Mk 亮点 O=u.J8S2
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 $ M|vIw{# #m'+1 s L 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） )1)&fN41i# 严格分析光栅衍射效率 LG?b]'# 考虑入射光的方向分布 eI -FJ/CJ {PL,3EBG 说明：光源 h}+Gz={Q^ Wx8 cK=  Ax4; [K\Q tU8aPiUl 说明：光束分束器 X(]J \?n' E_xk8X~  xf qu=z8X s21) *d 说明：检测透镜系统 %nkbQ2^ Hxj8cX UF|  D VBsRV)/ s6oIj$ 说明：微型晶片 hSk r 6+IJxUd  k{\a_e` Mi[,-8Sk 说明：检测物镜 y8|}bd<Sr I=8MLv  8Kz H
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