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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 G7Z vfLR{:  
    t0e{| du  
    任务/系统说明 ],\sRQbv&  
    |,;twj[?4  
    cXS;z.M\_  
    Y  .  
    亮点 2"leUur~rO  
    19F ;oFp  
    3+(yI 4  
    goDV2 alC^  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) j?\$G.Y  
     严格分析光栅衍射效率 JFRpsv  
     考虑入射光的方向分布 LAv:+o(m/  
    9jO`gWxV8*  
    说明:光源 5 [ ,+\  
    v Zb|!#I  
    C5es2!^-]O  
    F1gt3 ae  
    说明:光束分束器 X-kXg)!Bg  
    4D^ M<Xn  
    K`Bq(z?/  
    7~wFU*P1  
    说明:检测透镜系统 ]8$#qDS@  
    EqD^/(,L2  
    y]}b?R~p=  
    ]?0{(\  
    说明:微型晶片 *A?8F"6>  
    +`;+RDKY*  
    0 kf(g156  
    :7p9t.R<$h  
    说明:检测物镜 x37/cu  
    7hB#x]oQo  
    j)jCu ;`  
    |7 &|>  
    说明:探测器 `"a? a5]k  
    U^%9 )4bj  
    m`hGDp3  
    o]Z _@VI  
    结果:3D光线追迹(只有0级) -xJX_6}A  
    wgY6D!Y   
    _*s~`jn{H  
    tg~A}1o`0  
    结果:3D光线追迹(所有级) ,YjxC p3  
    i[$-_  
    DH5bpg&T  
    7\mDBG  
    结果:光线追迹 w#*/y?"D  
    M_k`%o  
    ,-@xq.D  
    :qxm !P  
    结果:场追迹 jm+ V$YBP  
    }@d>,1DU  
    `9/0J-7*  
    p-.Ri^p   
    结果:线性偏振光的场追迹 4~!Eje!  
    6\NvG,8  
    mge#YV::  
    ~?gzq~~t  
    文档和技术信息 HLVQ7  
    '|Qd0,Z  
    P{?;T5ap6  
    (~h7rAEc  
    dUIqDl  
    QQ:2987619807 !X-9Ms}(d  
     
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