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成像系统>包括光栅 *V^ #ga#A ;^u*hZN[Up 任务/系统说明 "@ 3@/I ITJ q  _, AzJ^ 'm=*u
SJK 亮点 W_M'.1 t
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 [dX`K `k *4Fr&^M\ 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） mABe'"8 严格分析光栅衍射效率 l]!9$ 考虑入射光的方向分布 EpPf _ \o - <_$m6x"A 说明：光源 's
x\P[a zdun,`6  @ez Tbc3 y %8op:' 说明：光束分束器 ,{eU P0 ] .0HZNWRtb  h~Q)Uy5N(D QrG `&QN 说明：检测透镜系统 q> :$c0JY Q />L_S  I8Vb-YeS #_
C 说明：微型晶片 NF$\^WvYSP O%!5<8Xrb  B#%; Qc ~`#-d ^s: 说明：检测物镜 KGHq rc l7[7_iB&E  JOn yrks rEZ8eeB[3 说明：探测器 C&\5' [* %WFu<^jm  #!J(4tXny 'rP]Nw 结果：3D光线追迹（只有0级） ;(6g\ 'm {Z;t ^:s#  #1-xw~_ 5 x2Ay=s 结果：3D光线追迹（所有级） ?wpB` &:*q_$]Oz  3 *S{;p _1Z=q.sC 结果：光线追迹 ]L PQYL v0*N)eqDGd
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