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成像系统>包括光栅 R_DQtLI 1h{_v!X 任务/系统说明 !\v3bOi& C.p*mO&N  :7*\|2zA M!@[lJ 亮点 uS.a9
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 l).Ijl}AH; %&GQ]pmcY 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） x SZw , 严格分析光栅衍射效率 <h0pt CB 考虑入射光的方向分布 6h8NrjX #}?$mxME* 说明：光源 tJ3s#q 6 qpCi61lTDJ  6Wp:W1E{` B9\o:e Y 说明：光束分束器 {'[1I_3 #xB%v  #{sb>^BF h w2Hn
说明：检测透镜系统 S?$T=[yY) af{K4:I  PX'%)5:q;i beoMLHp 说明：微型晶片 ) 'KHUa9 nK$m:=  G<DUy^$i hG]20n2 说明：检测物镜 p6*D^- qB`P7!VN^]  |n/id(R+ #'oKkrl 说明：探测器 ^&%?Q_] @hv]
[( <  q\<vCKI-^ 7[\B{N9&W 结果：3D光线追迹（只有0级） *V}}3Degh s+11) ~  $? YkgK ^C{a' 结果：3D光线追迹（所有级） wv$=0 z F M?o`tWLhF 
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 \l~h#1|%;s &nYmVwi?"Q 结果：线性偏振光的场追迹 V SxLBwXf +}n]A^&I\E  =}[V69a
<t Nx*ce5 文档和技术信息 mAMKCxz, lF<(y F5
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