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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 Q,~x#  
    Y[@0qc3UO  
    任务/系统说明 @y5=J`@=  
    _$5@uL{n"^  
    F5U|9<  
    I>aGp|4  
    亮点 6A?8tm/0  
    Z%OW5]q  
    e^8BV;+c  
    r%|A$=[Q  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) t!:)L+$3  
     严格分析光栅衍射效率 lH6fvz  
     考虑入射光的方向分布 lm*g Gy1i  
    5B?i(2&#  
    说明:光源 `BjR.xMv  
    +?Ez} BP  
    $ser+Jt=  
    r**f,PDZ  
    说明:光束分束器 !D;c,{Oz  
    NH4?q!'G  
    \7 Gz\=\LR  
    xNIGO/uI~  
    说明:检测透镜系统 ]Jn2Ra"j  
    @vt$MiOi  
    #x)8f3I  
    Mg\TH./Y:  
    说明:微型晶片 $UC{"0  
    =k_UjwgN^  
    ]-bQNYKX  
    |IN[uQ  
    说明:检测物镜 P0 b4Hq3  
    1qZG`Vz  
    yLqF ,pvO  
    e2wvc/gG6  
    说明:探测器 GW/WUzK  
    95L yYg  
    ;MPKJS68@  
    RG1\=J$:E  
    结果:3D光线追迹(只有0级) \=fh-c(J,  
    m#n]Wgp'  
    d}+W"j;  
    5\'AD^{  
    结果:3D光线追迹(所有级) l9J*um-  
    F 7LiG9H6`  
    (f>M &..  
    kceyuD$3G  
    结果:光线追迹 s[X B#)H4  
    r6 }_H?j  
    ShGp^xVj  
    g "*;nHI D  
    结果:场追迹 cmDT +$s  
    {SdO9Yy?@7  
    hB>^'6h+  
    1tGgDbJU  
    结果:线性偏振光的场追迹 = F<:}Tx)C  
    + zp0" ,2B  
    +|&0fGv;d9  
    GTAf   
    文档和技术信息 Yt{&rPv,  
    5g0_WpO  
    V.VJcx  
    V3uXan_  
    l"\uf(0K  
    QQ:2987619807 {[^#h|U  
     
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