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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 mK!73<p_  
    dgb#PxOMH  
    任务/系统说明 5(@P1Bi  
    ?W  l=F/  
    wB(A['k  
    i *W9 4  
    亮点 w Phs1rL  
    W0vdU;?%  
    {fi:]|<1h  
    $tGk,.#j  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) <k2Qcicy  
     严格分析光栅衍射效率 {VWX?Mm  
     考虑入射光的方向分布 NXQdyg,  
    qT( 3M9!  
    说明:光源 'g<0MOq{  
    obUX7N  
    `4 Jlf!  
    v!oXcHK/  
    说明:光束分束器 zLQplw`#  
    a78&<  
    _x<CTFTL  
    nl9G1Sm(E  
    说明:检测透镜系统 yFp8 >  
    jl# )CEx  
    %xE9vN;  
    *ujn+0)[  
    说明:微型晶片 9v_B$F$_T  
    OidF{I*O  
    n@9*>D U  
    S`yY<1[O  
    说明:检测物镜 bL`O k  
    sxq'uF(K  
    ]AlRu(  
    vi+k#KE  
    说明:探测器 n !ty\E  
    GT|=Kx$;  
    6 /T_+K.k  
    -\mbrbG9H  
    结果:3D光线追迹(只有0级) V\nQHzjF<6  
    XP Nk#"  
    S<Zb>9pl  
    jPG&Ypm1   
    结果:3D光线追迹(所有级) `@MY}/ o.  
    j(Tt-a("z  
    vO#4$ ,  
    5Qb%g )jZ  
    结果:光线追迹 s'yA^ VPf  
    H]a;<V9[  
    <&3qFK*9r  
    4u;db_gX  
    结果:场追迹 )M5:aSRz  
    Gq4~9Tm)*  
    ~2Jvb[IM  
    > <WR]`G  
    结果:线性偏振光的场追迹 Hd(|fc{2  
    " $5J7  
    [([?+Ouy  
    S?.2V@Ic  
    文档和技术信息 yQ)y#5/<6  
    Z{/0 P  
    ^hOnLy2  
    zItf>j7|Z  
    }0Isi G  
    QQ:2987619807 1-C 2Y `  
     
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