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摘要 i1]*5;q T/DKT1P- 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 8<UD#i@:C vtyk\e)
Q}GsCmt=)O XUT,)dL 建模任务 GAONgz|ZI @= f2\hU iR;Sd >) 光栅特性与参数的严格分析 T
`x:80 *oAv:8"iY 不同光栅周期下的衍射效率 0e1W& .LDK+c
]J;pUH+u ">vxYi 关于光栅周期选择的考虑 0|<ER3xkx p=m) lR9
w5 nzS)B:u *I)oDq3 偏振相关的衍射特性 HvSKR1wL\ #9aB3C
[03$*BCq 3 9%e&Z'l
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lhsd39NM DC4,*a~ 通过参数优化进行光栅设计 qLkn a bF:]MB^VK 固定周期的2D参数优化 .v<c_~y i$HA@S
<}S1ZEZcQ 2D参数优化–设计1 J(+I` jE!<]
@+LkGrDP OYKeu(=L 2D参数优化–设计2 23XSQHVx E6(OEC%,
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K)5'Jp@ C' x?riJ/ 制造公差分析 7kmU/(8 k2Yh?OH
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1N o~7~S 走进VirtualLab Fusion TCAtb('D T1TKwU8l
W=YFe<Q siveqz6h VirtualLab Fusion中的工作流程 PM3kI\:)m nbM[?=WS
[gm[mwZ AF5.)Y@. •构造光栅结构 gf/$M[H! −通过使用界面来配置光栅结构 /mLOh2T [用例] Xq`|'6]/ •分析光栅衍射效率 vZj:\geV −光栅级次分析器[用例] W]Z;=-CBr •使用参数运行搜索初始解决方案 dL%?k@R −参数运行文档的使用[用例] FoY_5/ •通过参数优化找到最终设计 IQ_2(8Kv Hts.G~~8 VirtualLab Fusion技术 S]3K5Z| v%O KOrJ
&Rw4ub3 Pg[XIfBva 文件信息 \T)2J|mW b#;%TbDF r\J"|{)e x(J|6Ey7!n s=0z%~H
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