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摘要 ~5g ~;f[4 ctUp=po 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 `x|?&Ytmf9
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 ;=N# `l ;PH~<T 建模任务 n*$ g]G$ 2?x4vI
np;  cu6Op q9 光栅特性与参数的严格分析 W4N{S.#! u&NV,6Fj2[ 不同光栅周期下的衍射效率 XilS!, h\e.e3/
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W 关于光栅周期选择的考虑 iB{V^ksU
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 $C\BcKlmv yjAL\ U7`T 偏振相关的衍射特性 5m*,8 ]!- Vc2`b3"Br
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 pUTr!fR " fI6Cpc 通过参数优化进行光栅设计 d5.4l&\u 68
sB )R 固定周期的2D参数优化 w@b)g q7!{?\T%
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 ;j7#7MN2_E C+]I@Go'Tk VirtualLab Fusion中的工作流程 /{[o ~:'p
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 s.#`&Sd> j+!v}*I![ •构造光栅结构 G)YcJv7
−通过使用界面来配置光栅结构 @c#(.=
[用例] \!(zrfP{(
•分析光栅衍射效率 [RL9>n8f
−光栅级次分析器[用例] ,I9bNO,%JK
•使用参数运行搜索初始解决方案 9$Y=orpWxr
−参数运行文档的使用[用例] 9!GM{
•通过参数优化找到最终设计 b LL2 us.~ G VirtualLab Fusion技术 vIvIfE )_:NLo:
 6LZCgdS{ .X&9Q9T=# 文件信息 -4K5-|>O }b}m3i1 LP-o8c  |: o4w _GPe<H
>_TZ'FT QQ：2987619807 N#] ypl
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