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摘要 bkV<ZUW|; =6[.||9 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 pux IJ
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 ?Ij(B}D f CU] 建模任务 ?.46X^ >&P M' k  Z6Fu~D2U y 光栅特性与参数的严格分析 bej(Ds0 Te+(7
Z 不同光栅周期下的衍射效率 P51M?3&=l <a6pjx>y
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90Ki.K 0 关于光栅周期选择的考虑 e'3V4iU]
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 I C gm9*z.S\' •构造光栅结构 |}=eY?iXo
−通过使用界面来配置光栅结构 E %mEfj7
[用例] z< % P"
•分析光栅衍射效率 Ge q]wv8
−光栅级次分析器[用例] F1Z'tjj+
•使用参数运行搜索初始解决方案 y[_ k/ .1
−参数运行文档的使用[用例] p D<w@2K
•通过参数优化找到最终设计 *9'3 `^l vIV|y>;g VirtualLab Fusion技术 \L Q+
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