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摘要 mv<cyWp |r*y63\T 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 {s@&3i?ZiC T+V:vuK 45+kwo0 hzV%QDUpe 光栅详细说明 n`Ypv{+ {% (i)O@Jve 6%VRQ#g! t-FrF </0 •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 %H"AHkge:a •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 G!GGT?J uCFpH5> 光栅阶次分析器设置 YZ0Q?7l7 P; =,Q$e8 •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 :JxuaM8 •可以指定各种输出选项。 A*{V%7hs& •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 K?wo AuY EU7mP
MxJ Nrp1`qY ]gb?3a}A 常规设置 }5gQ dj[Y !"^//2N+, g<4@5OQKu O~bzTn •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 &ZPyZj •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 :jWQev"/ r^"pLzAx 单个阶次设置 -[lOf z!9w Lo^r bq}o#d5p-_ tw]Q5:6 •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 fH
5/ •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 \R#OJ=F P_c9v/ 单个阶次设置 4q^'MZm1 [%6"UH
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C3G=DTt 探测器标签页中的输出 .{#J2}+[_} &qFy$`" Oc?]L&a |