一、电控柜的操作 5@W j>:w
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1. 开水泵、气源 i!Ga5 v8n:
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2. 开总电源 Kc(FX%3LU
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3. 开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。 Tm?# M&'
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4. 开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。 T6k0>[3xf
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5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 [0e_*
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二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 >o,TZc\
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1. 总电源 ,Y48[_ymm
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2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。 J$v?T$LVw
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3. 开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA, WuW^GC{7
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灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。 7 xa>
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三、关机顺序 )\^-2[;
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1. 关高真空表头、关分子泵。 *uvQ\.
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2. 待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。 t&DEb_"De
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3. 到50以下时,再关维持泵。 &
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ZZSX-800 真空镀膜机 北京仪器厂 2000年7月 &iVs0R
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镀膜室尺寸:¢800mm×1000mm 7J&4akT{9
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极限压力:5×10-4 Pa GvlS%
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抽气时间:从大气压抽至2×10-3 Pa,<15min