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    [转载]ZZSX-800 真空镀膜机使用方法 [复制链接]

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    离线huang8215
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2007-03-07
    一、电控柜的操作 5@W j>:w  
    (7*}-Uy[C  
    1.      开水泵、气源 i!Ga5v8n:  
    bZV/l4TU  
    2.      开总电源 Kc(FX%3LU  
    >LuYHr  
    3.      开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。 Tm?#M&'  
    TS5Q1+hWHV  
    4.      开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。 T6k0>[3xf  
    ?bu>r=oIO]  
    5.      观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 [0 e_*  
    {l >hMxij  
    二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 >o,TZc\  
    GPkpXVm  
    1.      总电源 ,Y48[_ymm  
    Y nZiT e@  
    2.      同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。 J$v?T$LVw  
    DlNX 3  
    3.      开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA, WuW^GC{7  
    uW3!Yg@  
    灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。 7x a>  
    RpYERAgT  
    三、关机顺序 )\^-2[;  
    m j@13$=  
    1.      关高真空表头、关分子泵。 *uvQ\.  
    !{41!O,K#  
    2.      待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。 t&DEb_"De  
    WMg~Y"W  
    3.      到50以下时,再关维持泵。 & ZB  
    ^G-@06/!  
    sn>~O4"  
    O|UC ?]6  
    ZZSX-800 真空镀膜机 北京仪器厂 2000年7月 &iVs0R  
    HUOj0T  
    镀膜室尺寸:¢800mm×1000mm 7J&4akT{9  
    u> / TE  
    极限压力:5×10-4 Pa GvlS%  
    GowH]MO  
    抽气时间:从大气压抽至2×10-3 Pa,<15min
     
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    离线huang8215
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    只看该作者 1楼 发表于: 2007-03-07
    自己先给自己顶起来~~希望对大家有所帮助
    离线银河系
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    只看该作者 2楼 发表于: 2007-03-07
    谢谢我曾经用过真空镀膜机 h3@v+Z<}  
    操作基本一样!
    离线孙莽
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    只看该作者 3楼 发表于: 2007-03-08
    曾经用过真空镀膜机
    离线yixiangren
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    只看该作者 4楼 发表于: 2007-06-12
    太麻烦了!开惯了进口机,真怕有一天遇到国产机可能会不会开。
    离线yufe16
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    只看该作者 5楼 发表于: 2007-07-05
    是啊,有段时间不操作就要忘!
    离线wushi
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    只看该作者 6楼 发表于: 2007-09-21
    是蒸度还是溅射镀?
    离线随即激光
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    只看该作者 7楼 发表于: 2015-04-22
    感谢分享