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摘要 ,g~Iup {n'+P3\T: 生成一个自定义探测器来计算一维周期结构的衍射效率,这是一个用户定义范围内入射方向的函数。根据效率,可以在定义的视场内评估衍射效率的平均值和对比度,并且可以用于定义优化函数以便进行可能的参数优化。 _t7}ny[ )&F]j M!D&a)\ 50='>|b 建模任务 ENhKuX u$%;03hJ ~^ <1k- 任务: \ y}!yrQ \\d!z-NOk? 生成探测器来评估给定视场(FOV)的波导耦合光栅的性能(平均效率,均匀性)。 dZ6P)R :+?w> 探测器可用于分析透射或反射模式下的指定衍射级。 {Yc#XP |J^}BXW'^) 视场(FOV)的定义 D~T;z pS :oeDksld 调用傅里叶模态法(FMM) 0YA Q| _e= 使用探测器帮助浏览输入参数 5fjL |]UR&* <oKoz0! 探测器结果的评估 !V~,aoKTj Gzw9E.Hk 作为结果,探测器会根据对特定衍射级次m作为一组平面波入射方向的函数的效率,来计算平均效率和均匀对比度。 `iZ){JfAH ?qt .+2: 均匀对比度(或误差)由下式计算 pW,)yo4 F[5sFkM7 Pu0 <Clh 9%&
=n 计算值在VirtualLab Fusion的探测器结果中显示。 Ej#pM. 'jA>P\@8 矩形光栅的波导耦合分析 c_ Dg0
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