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5A6d ] 这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下，线型的横截面具有梯形形状，它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 3l 0> OE/O: F:1j 光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 x AD: Z " S偏振照明的近场强度 7 0:a2m P偏振照明的近场强度 PQ|k E`'
傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 F XOA1VEg
{@oYMO~ 参数扫描 #^v|u3^DD
g%Ap <iT Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 Kh xl 'qj
>LwZ"IE V 它会生成以下曲线图，显示反射和透射衍射级的强度： Ed )t87E b{t'Doe 在脚本data_analysis/run_can_width.m中，线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化，照明角度固定。 [L,Tf_t^Y P/?`
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