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X lX t, 这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下，线型的横截面具有梯形形状，它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 3;jx Io$, g3Q;] 8 Y& 光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 X S偏振照明的近场强度 r?~_ ^ P偏振照明的近场强度 U go!
傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 |7KWa(V5I
0`V=x+*, 参数扫描 P ( -
{\k }:) Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 #Mk3cp^Yl
o;
6^: 它会生成以下曲线图，显示反射和透射衍射级的强度： G]$E If' d=D#cs;\ 在脚本data_analysis/run_can_width.m中，线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化，照明角度固定。 n5oX 51J [CI0N
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