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L5uI31 这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下，线型的横截面具有梯形形状，它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 #7T ={mh 13kb~'+&r 光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 9d}nyJ S偏振照明的近场强度 )9Ojvp=#r: P偏振照明的近场强度 @BhAFv,7
傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 w>Sz^_ h
U7eQ-r 参数扫描 ]qHO{b4k
6e| 5qKr Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 R0d|j#vP
ve^MqW &S 它会生成以下曲线图，显示反射和透射衍射级的强度： 2 U{RA' s P`9A?aG.Z 在脚本data_analysis/run_can_width.m中，线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化，照明角度固定。 o9\m? ~g!E {[~,q\M[
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