-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2024-06-12
- 在线时间1278小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
!S$LRm\' 这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下,线型的横截面具有梯形形状,它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 M9M~[[
7CWz)LT 光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 j/ow8Jmc* S偏振照明的近场强度 OXT 5
y) P偏振照明的近场强度 'QeCJ5p] 傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 sWa`-gc {ZrIA+eH 参数扫描 |eU{cK~e^ j.=VZ Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 U\s.fIr >kU$bh.( 它会生成以下曲线图,显示反射和透射衍射级的强度: PuYAoKG W+k SL{0 在脚本data_analysis/run_can_width.m中,线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化,照明角度固定。 DQui7dr)l CD]"Q1
t}
QQ:2987619807
|