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一种高精度的非线性相位误差 校正方法
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一种高精度的非线性相位误差 校正方法
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发表于: 2021-05-07
关键词:
非线性
相位误差
校正
在相位测量轮廓术中,测量
系统
中
投影
仪等存在的
非线性
响应大大影响了相位测量的
精度
,因此,如何快速高效地消除系统中的非线性误差是提高测量精度的关键。本文建立了
相位误差
的精确
模型
,并提出了一种基于相位误差精确模型的相位提取方法,利用高步数相移算法预先标定各频谱分量的比例关系,再通过迭代运算即可得到高精度的相位分布。实验结果表明,该方法可有效补偿非线性误差,从而大大提高相位测量精度,同时,由于各频谱分量是通过高步数相移预先标定的,仅三步相移即可得到高精度相位分布,满足了快速、实时的测量要求。
附件:
一种高精度的非线性相位误差.rar
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1楼
发表于: 2021-10-17
有光学透镜材料(牌号)判定的同仁没有,我这里可以无损检测透镜材料(折射率),准确度到小数点后3位或4位。也可以测透镜透过率(紫外可见近红外) 13683273427 武
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