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摘要 i ;X'1TN(y F}sfk}rp 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 Nk^#Sa? {BKI8vy
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~ i(U*<1y 光栅详细说明 JNMZn/ +j`*?pPD(.
u9VJ{F )ZiJl5l@ •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 (U|W=@8` •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 C9bf1ddCW& xY_/CR[, 光栅阶次分析器设置 DoImWNLo h?$4\^/ •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 ?]sj!7 •可以指定各种输出选项。 8c~b7F
\ •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 M4')gG; B d\p!f<
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*RF) 常规设置 \idg[&}l} E@[`y:P
meIY00 {)k}dr •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 O<o_MZN •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 wcV~z:&^5 1[B?nk 单个阶次设置 ]2Lwd@ .;$/nz6vk
wAy;ZNu O{%y `|m •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 JO1c9NyKr •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 #<!oA1MH4 ZM4q@O)/ 单个阶次设置 vw+
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nDaQ1 SDJAk&Z}R IURi90Ir
)!M:=}." /<y-pFTg 探测器标签页中的输出 HfmTk5|/ X"'}1o
a"hlPJlG oIbd+6>f •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 6)DYQ^4y •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 yjN|PqtSV }R.cqk\qa^ 极坐标图中的输出 \Fc"Q@.u J}<k`af [\.
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•光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 V^.~m;ETu] •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 %:((S]vAi Po=)jkW 极坐标图设置 I[&z#foN=w ,R*ru*
ZYkeW WvNX%se]3 •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 /[_>U{~P# •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 D<Ads RI cA)I. 阶次汇集输出 ae#7*B `@=}5 9+| [ nYwJ •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 ?u 9)
GJO[ •用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据 m.S@ e8kS & |