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摘要 FE1dr_i
*>.~ f<V
 | ::kC3= &.. ^ sH1YE}0 {Z;W |w1t 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向，使用了“ _p{ag
1gP ─ 指向（关于z轴旋转），使用锯齿光栅说明。 hmkcW r` ─ 关于y轴旋转180，使用矩形光栅说明。 dQA J`9B ^~MHxF5d 示例 V&KH{j/P , =>O/!s  13A11XTp
@N.W #<IG 通过设置光栅和界面的坐标系的关系，可以定义界面上的光栅方向。 B7t #H? ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系，黑色坐标系代表界面坐标系。 n*D)RiW ─ 通过设置指向（关于z轴旋转）（Orientation (Rotation about z-Axis)）和关于y轴旋转180（Rotation about y-Axis by 180），在界面坐标系中，光栅坐标系进行了旋转。 l) VMF44 ─ 我们还将在远离光栅的探测器平面中显示衍射阶数，以给出光栅方向。 ]5td,2E
C
sr#, S(p 关于z轴旋转的图示 A'|W0|R9 [ sz#*IJ  D' O[0?N"g
C bG"8F|4 使用锯齿光栅说明指向（关于z轴旋转）（Orientation (Rotation about z-Axis)）。 \{?v|%n=/i 光栅关于y轴是非对称的，所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以，我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。 . 36'=K
Q+ G =f 指向（关于z轴旋转）:0° 3 SQ
5C' E Q*$x!q
 !l6B_[!@ X?r JO~5 注意：默认坐标系的所有基本矢量（x，y，z矢量）完全相同。 C& Nd|c
v}[K Vwse 指向（关于z轴旋转）: 30° %X G X( XA9$n_| bw  mMT7`r;l
h PFIf>%} 注意：方向角度的定义为： M~N'z / ─ 关于界面坐标轴。 )Y?H f2'] ─ 逆时针方向。 O";r\ Z
$BH 0W{S 指向（关于z轴旋转）: -90° V^L;Nw5h #C%<g:F8
 oL }FD !} WlZ[9,:p1 注意：方向角度非常灵活，可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。 o}WbW }&
aeUm,'Y$ 关于y轴旋转180°示例 nk-6W4 Y]8l]l 1
 Gq-U}r 9 lTA/- 使用矩形光栅界面（注意光栅堆栈也可以放在界面上）说明关于y轴旋转180（Rotation about y-Axis by 180）。当相对狭缝占宽不是50%，界面两侧介质固定时，旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈，这导致了衍射效率的不同分布。 ~sSB.g
jIdhmd* $z 关于y轴旋转180°（未选中） H Tx7._b FLy|+4D_%4
 !2&h=;i~V , st4K;- 注意： zP=J5qOZ8 默认时，为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠，光栅添加到光学界面的右侧（z轴和z‘轴相同）。 vg E 5(fJh 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同，因为在光栅工具箱中： :^iR& `2~ ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面，其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。 O g H Wmb ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面，坐标系完全相同，但与此处相比（假设衬底是二氧化硅）第二个界面前后的材料相反。 XTW/3pB
e` }|*^- 关于y轴旋转180（选中）
8CEy#%7]}
cW&OVNj
 3v0)oK ZTS*E,U% 注意： l^0
<a<P 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180，所以看到光栅接口两侧的材料都切换了，所以光栅堆栈变成了例2. E) z g, 7Y
QG9 2^ 例1和例2的附加信息 7CG_UB
O Zt 'ovY
 3U:0 ,-j"
P$4?-AZ 文档信息 n }MG SZwfYY!ft0 MF E%q  xOu
cZ+ >) S
a#w; QQ：2987619807
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