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摘要 ~*Ve>4 WE4:Jy 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 a<sEd p jfl7L"2 1[J&^@t[h6 gPe*M =iF 1. 建模任务 zUXqTcj 6<NaME >9F,=63A BkA>':bUr 2. 结果 ag14omM- J7emoD[ }Q`Kg8L LcE!e%3 2#@S6zc 6=90 wu3 3. 文件和技术信息 <|Bh;; Q0,]Q ]_ "f~S3 ?^!2
v%/_*69a KI-E=<zt QQ:2987619807 e<l Wel
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