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摘要 NpqK+GO ;XAj/6pm 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 +9yV'd>U d>k)aIYp J7a_a>Y 6)5Akyz4V 1. 建模任务 pQ2'0u5w5 |%\>+/j$ *{TB<^ * d K.k,7R 2. 结果 I.'(n8* _e4%<!1 s&.VU|=VQ@ !I)wI~XF)5 %OT} r u]`ur#_ 3. 文件和技术信息 *M^(A}+O L JW0UF| dkUh[yo"H O>
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