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摘要 l_T5KV
v&"sTcS| 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 -.UUa + Ui%}^ZZ 5>h#
hcL /I0}(;^y 1. 建模任务 WAb@d=H{+> AD"L>7 sTECNY=l va;fT+k= 2. 结果 s&6/fa
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l'"Ici#7Ls 3. 文件和技术信息 ^FK-e;J }[ByN). h
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