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摘要 vXRfsv y #U(dleT8 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 Iz!Blk qnv9?Xh .0cm
mpUNq "f(iQI 1. 建模任务 l)HF4#Bs KE&Y~y8O\ n4qj"xQ 6}n>Nb;L" 2. 结果 ^'*9,.ltd d1 D{wZ3g kdITh9nx<r I/_`/mQ 2zh?]if QrHI}r 3. 文件和技术信息 S3`zB?7, G?8LYg!- {Z3B#,V(g 7?qRY9Qu ShxB!/s QQ:2987619807 j{0_K+B
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