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摘要 en7i})v\". )<4o"R:* 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 Faa:h# n]4)~ZIAU bf3LNV| # l~d 1. 建模任务 dv4)fG]W;_ IC[SJVH; g2C-)*'{yh do*`-SDy 2. 结果 9}X3Q!iFb eFXxkWR) (o^V[zV =B1t?(" 5`oor86 Fhn883 3. 文件和技术信息 F-k1yZ?^ &0f7>.y 23+6u{
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