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摘要 ~9]hV7y5C BWa,f8 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 M61xPq8y5 _$YkM, nZyX|SPk 1. 建模任务 g"DG]/ev ay
;S4c/_ 2. 干涉条纹的变化 kk@fL )e+>w=t O)*+="Rg 3. VirtualLab Fusion概览 2B[X,rL.pX :D6
ON"6 M*, -zGr 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 z6=Z\P+ 设置输入场 ^A$Zw+P - Basic Source Models [教程视频] /<=u\e'rE 定义组件的位置和方向 5y[Oj^ - Basic Source Models [教程视频] x7&B$.>3 正确设置通道以进行非顺序跟踪 HZC"nb}r4 - Basic Source Models [使用案例] C=L>zOZ 使用参数运行检查影响/变化 l'-Bu( - Usage of the Parameter Run Document [用例] N1}sHyVq7 q]ku5A\y
|&+o^ XFHYQ2ME2 5. VirtualLab Fusion 技术 \O3m9,a QC
OM_$ y _ @NL;w:! 6. 文件和技术信息 ~F|+o}a`
45@ I *` *e TqVG.
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