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摘要 0ZlF#PJA =rFgOdj 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 9K-=2hvv i!@L`h!rw B0T[[%~3M 1. 建模任务 [/.o>R#J( % V/J6 2. 干涉条纹的变化
3V>2N)3`A 9l5l"Wj& >r6`bh
[4 3. VirtualLab Fusion概览 E`}KVi57 CXwDG_e iqW
T<WY 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 Ew~piuj 设置输入场
s>~ h<B - Basic Source Models [教程视频] ' !>t( Sa 定义组件的位置和方向 pj4M|'F7 - Basic Source Models [教程视频] I"eXoqh 正确设置通道以进行非顺序跟踪 icLf;@ - Basic Source Models [使用案例] ,#@B3~giC 使用参数运行检查影响/变化 |#fqHON - Usage of the Parameter Run Document [用例] I'%vN^e^ x<W`2Du <iDqt5)N jr29+> 5. VirtualLab Fusion 技术 `'H"|WsT z-<U5-' A6v<+`? 6. 文件和技术信息 $\h\,N$y rP Wn {L^b['h@
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