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摘要 ]EVe@ orQV' 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 R%)2(\ J+cAS/MYX C{`^9J- 1. 建模任务 LG Y!j_bD .e FOfV) 2. 干涉条纹的变化 YM`:L !rsa4t@t y=oVUsG 3. VirtualLab Fusion概览 @tE&<[e C)J_lI{^ co$Hi9JE 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 xqQ~| 设置输入场 \8> - Basic Source Models [教程视频] 2|0Qk& 定义组件的位置和方向 }DDVGs[ - Basic Source Models [教程视频] z<yNG/M1>U 正确设置通道以进行非顺序跟踪 [V> :`? - Basic Source Models [使用案例] daA47`+d 使用参数运行检查影响/变化 "RV`L[(P*k - Usage of the Parameter Run Document [用例] k W<Yda<a J$6-c'8 J8GXI :y D0Vyh"ua 5. VirtualLab Fusion 技术 i14[3bPLk! 9S:{ IdV,%d{ 6. 文件和技术信息 2Y E;m& '!j #X_; 97qtJ(ESI
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