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摘 要 }#va#Nb(,
6 B>1"h%Wf 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备，它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹，我们构建了一个菲索干涉仪，并利用它测试了不同的光学表面，例如圆柱形和球形。 可以看出，产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 BBnW0v AZ* b /65Q&g' 建模任务 H=b54.J8& _' K J:3e
 -v"\WmcS Nb;xJSl ox 倾斜平面下的观测条纹 C":i56 G&8)5d[
 5=]q+&y\H lYEMrr!KQw 圆柱面下的观测条纹 k/[*Wz$W $=?1>zvF
 aBv3vSq> Q c 4Q{ 球面下的观测条纹 a wc@X:${ 6~g`B<(? VirtualLab Fusion 视窗 P>q"P1&{ "A\.` *6  IoUQ~JviA m]LR4V6k| VirtualLab Fusion 流程 TTB1}j+V6
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