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摘要 I
S'Uuuz7g QS\wtTXj 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 a]%sks olL? 6)gC
d:^B2~j 75>Ok / 建模任务 ZvT>A#R;l~ bi",DKU{l
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)i[Vq|n M;OMsRCVO 在VirtualLab Fusion中查看 y@LiUe5 )$df6sq -MTYtw( U-m MKRV VirtualLab Fusion的工作流程 vDi Opd $6D*G-*8 •构造光栅结构 R)\^*tkz7 - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] :E~rve' - 倾斜光栅的高级配置[用例] MpZ\j •分析光栅衍射效率 .PR+_a-X - 光栅级次分析器[用例] j4#uj[A •使用参数优化优化光栅参数 'U`;4AN •使用参数运行进行容差分析 %-.;sO=g - 参数运行文档的用法[用例] pPo xx"y -]D/8,|s
\#B<'J9.` iT,7jd?6# VirtualLab Fusion技术 blIMrP% |m
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4sn\UuKyL 8 p[n>qV9 文件信息 ?8GS*I r-.@MbBm
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