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中科院微电子所在纳米森林的微器件应用研究中获进展 湿度的监测与控制在气象、农业、汽车、医药等行业具有重要意义。随着MEMS技术的发展，基于MEMS工艺的电容式湿度传感器因其在宽相对湿度范围内具有较好的灵敏度和较好的抗干扰能力而受到广泛关注。传统的电容式湿度传感器通常由梳齿电极和湿度敏感材料两部分组成，该结构中存在寄生电容影响湿度传感器的灵敏度；传统湿度传感器的敏感材料主要有多孔硅、陶瓷、有机物等，其制备工艺较为复杂，吸附水分子的能力较弱。 基于以上问题，微电子所研究员陈大鹏课题组提出了一种以纳米森林为湿敏材料，同时集成参比电容、微加热器和热敏电阻的新型湿度传感器。纳米森林具有超亲水性和完全开放的纳米结构，可提高湿度传感器灵敏度。该器件同时使用差值法消除寄生电容，通过热敏电阻进行温度补偿以提高传感器精度，采用微加热器进一步缩短响应时间。与传统的聚酰亚胺湿度传感器相比，基于纳米森林的湿度传感器在10-90%的相对湿度范围内，灵敏度提高了15倍，响应时间缩短至5s。此外，该传感器还具备制作工艺简单、兼容CMOS工艺、适合批量生产等优势。  图1.集成纳米森林的湿度传感器工艺流程示意图和SEM图  图2.集成纳米森林的湿度传感器测试结果 相关研究成果以Performance Enhanced Humidity Sensor by in-situ Integration of Nanoforests为题，发表在《电子器件快报》（DOI: 10.1109/LED.2021.3062063）上。博士研究生陈贵东为论文第一作者，研究员毛海央为论文通讯作者。 分享到：
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最新评论
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copland 2021-03-23 08:39纳米森林的微器件
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chenzkfirst 2021-03-23 08:55，微电子所研究员陈大鹏课题组提出了一种以纳米森林为湿敏材料，同时集成参比电容、微加热器和热敏电阻的新型湿度传感器。纳米森林具有超亲水性和完全开放的纳米结构，可提高湿度传感器灵敏度。该器件同时使用差值法消除寄生电容，通过热敏电阻进行温度补偿以提高传感器精度，采用微加热器进一步缩短响应时间。与传统的聚酰亚胺湿度传感器相比，基于纳米森林的湿度传感器在10-90%的相对湿度范围内，灵敏度提高了15倍，响应时间缩短至5s。此外，该传感器还具备制作工艺简单、兼容CMOS工艺、适合批量生产等优势。
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木子示羊 2021-03-23 08:58中科院微电子所在纳米森林的微器件应用研究中获进展
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apal0069 2021-03-23 08:58工艺流程相比于设计发明，更具实用性
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chorin 2021-03-23 09:04中科院微电子所在纳米森林的微器件应用研究中获进展
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光电青年 2021-03-23 09:10纳米森林 微机电系统 湿度监测 湿敏材料
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james951 2021-03-23 09:22以纳米森林为湿敏材料.
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光学白小白 2021-03-23 09:26纳米微操作
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churuiwei 2021-03-23 09:37基于纳米森林的湿度传感器在10-90%的相对湿度范围
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王珏123 2021-03-23 10:41灵敏度提高了15倍，响应时间缩短至5s