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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-18
    摘要 ~M* UMF^  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 837:;<T  
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    建模任务 #t1? *4.p  
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    仿真干涉条纹 b(mZ/2,B  
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    走进VirtualLab Fusion 2\.23  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 (&)uWjq `  
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    •设置输入场 R~A))4<%%  
    基本光源模型[教程视频] 'bZw-t!M@  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 LjGLi>kI~  
    •定义元件的位置和方向 &<#1G u_  
    LPD II:位置和方向[教程视频] _"D J|j  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 YH%U$eS#g  
    非序列追迹的通道设置[用例] %#4;'\'5  
    •使用参数运行检查影响/变化 tjV63`LD  
    参数运行文档的使用[用例] MW^FY4V1m  
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    . P 44t  
    8Rw:SU9H?T  
    VirtualLab Fusion技术 uCW}q.@4  
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    文件信息 7 v3%dCvf  
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