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    [讨论]微晶玻璃镀膜AF,摩擦测试NG! [复制链接]

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    离线chenenlin
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-15
    此帖悬赏结束
    最佳答案:15 光币,最佳答案获得者:ouyuu
    关键词: 玻璃镀膜
    有谁有相关经验,欢迎大家讨论,同锅镀膜COT/AGC/GG5/GG6/GG7/蓝宝石,测试结果都OK L{ gE'jCC  
    设备试过溅射设备(新克隆/光驰)/蒸镀(光驰/新克隆/联合真空) ~Pk0u{,4XQ  
    AF克药试用很多种类,没有改善效果。 EruP  
    初步分析是摩擦后打底层脱落,打底材料试过P药/AL203/SIO2。 H;<!TX.zD  
    玻璃成分分析主要SI/AL/O/NA/KA/CR/LI E]^5I3=O  
    现怀疑是清洗导致表面附着--硅酸锂和硅酸钠(希望大家给些清洗建议),验证不清洗比清洗后效果要好。 ~Y5l+EF#  
    有没有谁有相关经验的,欢迎探讨! x:K?\<  
    BpAB5=M0  
    本帖提到的人: @ouyuu
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2021-03-19
    最佳答案奖励:+15 光币
    如果是基底问题的话,你蒸镀前用离子源(AR)使劲轰个十五分钟。 #/J 'P[z  
    这种情况下离子源基本上可以把基板打薄2nm,怎么都不会有问题了。 ^. X[)U  
    !MZw#=D`  
    而且离子源轰击还有个好处,可以增加基板表面的粗糙度。
    离线tony肖
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    只看该作者 2楼 发表于: 2021-06-22
    热心助人奖励:+1 光币
    再加一槽清洗剂去除硅酸
    离线chenenlin
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    只看该作者 3楼 发表于: 2021-03-20
    感谢回答! -Q[g/%  
    以上方案试过了,附着物估计是微米级别的,离子源没有办法清理干净。
    离线chenenlin
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    只看该作者 4楼 发表于: 2021-06-25
    请问一下,使用什么清洗剂?
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    只看该作者 5楼 发表于: 2021-06-28
    镀膜后超洗使用的洗剂PH值很关键,有没有试过氧化钛打底。
    离线聂光辉
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    只看该作者 6楼 发表于: 2022-03-05
    果是基底问题的话,你蒸镀前用离子源(AR)使劲轰个十五分钟。 2ij/N%l  
    这种情况下离子源基本上可以把基板打薄2nm,怎么都不会有问题了。 .ev\M0Dt  
    u8uW9 <  
    而且离子源轰击还有个好处,可以增加基板表面的粗糙度