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    [分享]极紫外投影光刻光学系统 [复制链接]

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    离线gangzi0801
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-12-06
    摘要:极紫外光刻(EUVL)是半导体工业实现32~16nm技术节点的候选技术,而极紫外曝光光学系统是EUVL的核心部件,它主要由照明系统和微缩投影物镜组成。本文介绍了国内外现有的EUVL实验样机及其系统参数特性;总结了EUVL光学系统设计原则,分别综述了EUVL投影光学系统和照明光学系统的设计要求;描述了EUVL投影曝光系统及照明系统的设计方法;重点讨论了适用于22nm节点的EUVL非球面六镜投影光学系统,指出了改善EUVL照明均匀性的方法。 g2 dvs  
    J(&a,w>p  
    关键词:极紫外光刻;投影光学系统;照明光学系统;光学设计
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    mang2004 光币 +6 - 2021-01-10
    cyqdesign 光币 +5 - 2020-12-06
     
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    在线mrnobody
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    只看该作者 83楼 发表于: 02-10
    EUVL学习
    离线alexcye001
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    只看该作者 82楼 发表于: 02-08
    感谢分享!
    离线gcy980605
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    只看该作者 81楼 发表于: 2024-10-28
    感谢分享。顶顶顶
    离线qinzyong
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    只看该作者 80楼 发表于: 2024-10-14
    下载下来学习学习,多谢楼主!
    离线smartu
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    只看该作者 79楼 发表于: 2024-10-13
    谢谢分享
    离线smartu
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    只看该作者 78楼 发表于: 2024-10-12
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    在线mmttxiaoxiao
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    只看该作者 77楼 发表于: 2024-10-11
    极紫外光刻系统
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    只看该作者 76楼 发表于: 2024-09-13
    谢谢分享
    离线风起长林
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    只看该作者 75楼 发表于: 2024-01-22
    进来看看,感谢分享