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激光扫描系统(LSC.0002 v1.0) HL;y5o? /lKgaq. 应用案例概述
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系统细节 Vd2bG4*= iV!o)WvG,F 光源 G 2]/g – 绿光二极管 / c1=`OJ 元件 wf!?'* – 双轴振镜扫描仪 PiMW29B^ – F-Theta物镜 +'9l 2DI; 探测器 7q>WO – 场曲和畸变探测器 nYJ)M
AG@ – 光束强度剖面探测器 DGl_SMJb – 焦点区域探测器 ozZW7dveU – 光束参数探测器 !Pf_he 模拟/设计 TFbMrIF
– 光线追迹:分析扫描场尺寸,场曲以及畸变 5CZii=@ – 场追迹:考虑衍射效应,进行更精确的光束尺寸和剖面的研究 }Yt/e-Yg%r CQf!< 系统说明 &?m|PK) I p2N;- c"w}<8
激光扫描系统的性能评估 f>k<I[C< CeD O:J=, 一个激光扫描系统的扫描光学部分包含了一个扫描仪单元和一个F-Theta物镜,在一维扫描过程中(沿入射角Theta),通过分析光束的场曲和畸变来评估其性能。 /; ;_l2 t 此外,计算了不同扫描位置处的光束尺寸和轮廓。 hnM?wn gF(aYuk 模拟和设计结果 V @A+d[ T/DKT1P- rPoPs@CBD 其他的VirtualLab特征 6-U+<[,x g9>
0N#< 在此案例中,你将从以下选择的特征中获益: 9ALE6 各种探测器 E5D5 - 测量与反射镜扫描角度相关的焦点位置 L>~wcoB - 测量探测器平面上的光束位置 1!,xB]v1Ri - 使用焦点区域探测器计算焦点区域中的场 t]|WRQvy8 参数耦合 !|hxr#q=4 - 针对扫描光学部分的期望输入扫描角度Theta来调整反射镜方位 LAG*H 参数运行 o2e aSG - 估计扫描场尺寸 6/^$SWd2 - 生成场曲和畸变图 zr~hGhfq %~`8F\Hiu 总结 S(kj"t*3 uK6`3lCD VirtualLab可以 5)fEs.r0U 模拟一个由双轴扫描反射镜和一个F-Theta物镜构成的激光扫描系统 QeP8Vl&e: 分析目标平面上的光束偏转 R I Bj9kd - 通过光线追迹来计算扫描场尺寸,场曲和畸变 s& |