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激光扫描系统(LSC.0002 v1.0) /wI$}X5o~ IZ3w.:A 应用案例概述 VbK| VON[ ^o|igyS9 系统细节 aD3'gc,l a`GoNh, 光源 G[6V=G – 绿光二极管 6{}]QvR 元件 *gu~7&yoP – 双轴振镜扫描仪 j$zw(EkN – F-Theta物镜 F)lDK. 探测器 rayC1#f – 场曲和畸变探测器 <<v,9*h – 光束强度剖面探测器 G(|ki9^@"9 – 焦点区域探测器 I9ubV cV8 – 光束参数探测器 J`uV $l: 模拟/设计 ar=uDb; – 光线追迹:分析扫描场尺寸,场曲以及畸变 s{KwO+ UW – 场追迹:考虑衍射效应,进行更精确的光束尺寸和剖面的研究 v%=G~kF}[ c5<M=$ 系统说明 pb}QP MaXgy|yB1 c&AA< 6pkv 激光扫描系统的性能评估 #G|iEC0C ~DhYiOSo 一个激光扫描系统的扫描光学部分包含了一个扫描仪单元和一个F-Theta物镜,在一维扫描过程中(沿入射角Theta),通过分析光束的场曲和畸变来评估其性能。 : UD<1fh 此外,计算了不同扫描位置处的光束尺寸和轮廓。 [$]vi`c2 br>"96A1l 模拟和设计结果 tH2y:o72 6N :fq {*`qL0u]^ 其他的VirtualLab特征 7:R8QS9 %[-D&flKC 在此案例中,你将从以下选择的特征中获益: d>)*!l2,C 各种探测器 YT}m
8Y - 测量与反射镜扫描角度相关的焦点位置 H{E223 - 测量探测器平面上的光束位置 @ bPQhn#(g - 使用焦点区域探测器计算焦点区域中的场 W'-B)li 参数耦合 %w=*4!NWb - 针对扫描光学部分的期望输入扫描角度Theta来调整反射镜方位 0tC+? 参数运行 GG5wiN*2S - 估计扫描场尺寸 c#
U!Q7J - 生成场曲和畸变图 Aj;Z
& x;99[C!$ 总结 =" #O1$ ZTVX5"#Q VirtualLab可以 gb|C592R5C 模拟一个由双轴扫描反射镜和一个F-Theta物镜构成的激光扫描系统 vkOCyi?c 分析目标平面上的光束偏转 BYyR-m - 通过光线追迹来计算扫描场尺寸,场曲和畸变 ib0M$Y1tIS - 通过几何场追迹来计算光束剖面 =m:xf&r# - 场追迹可以更准确地分析光束位置和焦点 *@S:f"i 应用案例详述 ,H2[["1DH .v9 #|d d+ 系统参数 G}&B{Ir 4)!aYvaER 应用案例内容 0g,;Yzm LSC.0001和LSC.0002为激光扫描系统。 [DC8X P5< 在这个案例中,通过模拟扫描过程来分析F-Theta物镜的场区和畸变。 ']4b}F:} 相对于LSC.0001,显示了性能提高。 c]v$C&FX 强烈建议首先阅读LSC.0001。 y9{KBM%h x?9rT 0D file used: LSC.0002_LaserScanning_F-ThetaObjective_01_RayTracing.lpd D/'kYoAEO X&8&NkH 模拟任务 ?]]>WP JQj?+PI 连续激光模 @Z&El:]3> 3'}(:X( 规格:输入激光光束 "G].hKgbk* <La$'lG4J 激光组件中的单模二极管激光器 X+z!?W*a (,
/`*GC 规格:电流反射镜定位系统 7+0Kg'^+n PTWP7A[
:3pJGMv( 典型双轴振镜扫描仪 eY)ugq>' qT$;ZV
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s!X@ l 规格:F-Theta物镜概述 T!0o(Pp< }><VcouJ[ :hr% 6K7 规格:F-Theta对象透镜参数 5R\{& 7g8}]\i+ 6c,]N@,Zw As
}:~Jy| 1G$fU
zS zP$0B!9 k&wCa<Rs~R 来自目录Schott_2014 B+[ri&6X\ Tw*:Vw 详述应用案例 o@*eC L= -c|dTZ8D)8 光线追迹模拟和结果 z SDRZ! n}/?nP\% 定位双轴振镜扫描仪 5Iine n3> >-J%=P
_<s[HGA`z VPW@y 双轴反射镜由两个分离的镜子组成。 Yef=HSzo 第一镜将目标光束偏转到x方向,而光束沿第二个镜子的旋转轴偏转。 U l8G R 第二反射镜将目标光束偏转到y方向。 @{N2I$%6 在VirtualLab中关于反射镜的设置可以在LSC.0001中找到。 nX~Qt% file used: LSC.0002_LaserScanning_F-ThetaObjective_01_RayTracing.lpd E[q:65xl fy]z<SPhVJ 评价扫描场尺寸 1Tl^mS~k <LL+\kfTZO 为了在探测器平面(视野场)评价扫描场的大小,可以执行一个扫描过程。 OH.^m6Z 使用参数运行的扫描模式,通过逐步的改变反射镜X和反射镜Y倾斜角度直至最大机械角度±12.5°,以模拟扫描过程。。 KmS$CFsGL ^/@Z4(E j3>0oe! 扫描过程的结合点图 `#@#eZ _=0%3Sh
aT|SKb` E)w6ZwV 上图显示了偏转光束中主光线的位置,光束由于不同位置的反射镜而发生了偏转。由参数运行(Parameter Run)的联合输出特性(Combined Output Feature)生成。 WV5z~[ 参数运行的组合光斑图可以在探测器平面上评估扫描场尺寸(例如50mm x50mm)。 lw+Y_; 此外,扫描位置位于非等距网格,由镜子倾斜和实际入射扫描角Theta之间的非线性关系生成(想要更多细节,参见下一张幻灯片)。 ,w-=8>5lrj file: LSC.0002_LaserScanning_F-ThetaObjective_02_ScanningProcedureAngles.run _G3L+St K/WnK:LU 反射镜倾斜和入射扫描角Theta之间的非线性关系 (bhMo^3/* )(b,v/: 为了更好地说明反射镜X和Y倾斜角和入射扫描角Theta之间的非线性关系,执行相似的参数运行(此过程中没有使用扫描光学原价n)(参见下图)。 z`g4 < 这种非线性特性是由三维反射定律和两个扫描维度分离的反射镜引起的。 QguRU|y 因此,探测器的位置位于一个非等距网格上。 -c%#Hd 为了生成一个等距网格,必须使用3D反射定律来解析地补偿非线性。 cdd6*+E HGycF|]2 file used: LSC.0002_LaserScanning_F-ThetaObjective_03_NonLinearBehavior.run , e^&,5b oF'_x,0 补偿反射镜倾斜和目标平面上光斑位置之间的非线性关系 <MK4#I1I 10tlD<eYb 上一个幻灯片,我们已经看到了反射镜倾斜和目标平面上光斑位置之间的一个非线性关系。在下面我们将使用VirtualLab的参数耦合(Parameter Coupling)工具来补偿非线性关系。 N"/J1
Z4ekBdmCL 在F-Theta物镜焦平面上,光束的横向位置线性依赖于球形入射角Theta(θ)和有效焦距(EFL)。 !s^[|2D_U 理想的球入射角Theta和Phi可以由探测器平面上的光束理想横向位置(x,y)计算得到。 1fgO3N YQ? "~[mL 通过参数耦合进行系统调整 2/o_,k `L~gERW# 如前面的扫描过程所示,反射镜倾斜和探测器平面上点位置之间的非线性关系可以由参数耦合中补偿。 6&oaxAp<s 因此,对于某点的位置,扫描镜的方向可使用三维反射定律来计算。 .+3~
w 使用参数耦合工具,系统可根据三维反射定律来进行调整。 8O^< |