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案例514(2.0) fSP~~YSeU K)v(Z" 该应用案例演示了对亚波长尺寸的抗反射蛾眼结构的严格分析与优化。此外,对直径和高度等结构参数的影响进行了研究,并说明了反射率对波长及入射角变化的敏感度。 rvG qUmSUs @2u<Bh}} 1. 建模任务 MVj@0W33m ?y
'.sQ 对全部反射光进行严格仿真并对结构参数进行优化。 jsG9{/Ov3 BNByaC 假设确定的蛾眼结构作为截锥三维光栅。 ;'Y?wH[ 2. 建模任务:3维平顶锥 1dq.UW\ eJwr 3. 3维光栅结构建模 5 4OYAkPCk ~\/ J& 4H,DG`[Mo VirtualLab提供了不同预定义的光学界面用来简化复杂3维光栅的设计。 -`;8~ wMN s,}<5N]U 例如截锥金字塔和锥体可从现有目录中选择。 jmb\eOq+~V .SsIU\[) 可将周期性再现功能应用于任意形状光学界面,用来建立微透镜阵列或混合透镜。 f&`*x t/ 4. 结构参数 z~BB|-kp1 5FzRusNiA 优化过程中保持不变的参数: Uyh 1. 高度因子:1(该参数可用于翻转结构) r" D |1 2. 底部直径:125nm lz*PNT{E 3. 周期尺寸:125nm Cjh&$aq 优化过程中变化的参数: -`RJk( 1. 高度(顶圆直径=30nm) tL5Xfd?u 2. 顶部直径(高度为1中优化后的高 ZJ4"QsF zZxP=
c 5. 3维截锥结构的建模 Za} |Ee -Z Z$
1E NqWHR~& VirtualLab提供了不同选项来设计3维截锥结构。 I45A$nV#Q qYh,No5\;t 如高度、顶部及底部直径等重要的参数可非常方便地进行调整。 daorKW4 wv7jh~x(4 通过“周期化”标签,所有指定的面都可被周期化定义。 SUEw5qitB ZMe| fn 6. 顶部直径的优化 5bw]cv$i `~}7k)F( sV6A& |