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光学测量＞显微 c9 E9 Rx ;v+CQx 任务/系统视图 M/sqOhg G@Zi 3 5  m9>nv rQ W%Zyt:H` 亮点 e]X9"sd0= g9"_ BG  tT#Q`cB
o w`c B 显微镜系统中光栅的全矢量分析 9'8oOBqm3% 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 $l[*Y 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 SS~Txt75m yb**|[By 说明：光源 iii$)4 V (U dDp"/  w)8@Tu:Q LP)mp cQ  N$,)vb< @x J^JcE 说明：透镜系统 Tx_(^K ujWHO$uz!  IKr7"` 说明：样品结构 D3lYy>~d5; hA\8&pI;  $xZk{ rK n0i&P9@B1 说明：探测器 qiF~ I0_0 -MEz` 7c~  h'fD3Gr&
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 &lS0"` J= | uZ=S]V@ 结果：3D光线追迹 f}'gg qL+ y8*  4K;j:ZJ"x l?1!h2z%  d,+n,;6Cf IP;@unBl 结果：光线追迹 ,] { NZ9 K]Cvk%  yl 8v&e{ q
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T#M$ T rlIEch^wZ  O({_x@ Wkk Nyg, 结果：场追迹采样平面 @!'H'GvA B;~agr  uWInx6p -d3y!| \>a 结果：场追迹焦平面 @Kr)$F |\( /dXXP  ~&/Gx_KU a*[\edc HU 结果：减小光栅周期 pi FQ7B
% Nn'p" 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 V6{xX0'b*m Aii[=x8
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