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光学测量＞显微 J(>T&G; 2P, %}Ms 任务/系统视图 >G9YYt ~ _p*a `,tK  @tT2o@2Y^ VEsIhjQ 亮点 wE~&Y? ^ <S ae:m4  m+|yk.md
GBYeiEgZh 显微镜系统中光栅的全矢量分析 mP*Ct6628n 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 #nq$^H 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 $ U=j<^R}a : %[mc-6. 说明：光源 ~n=oPm$ pR !P8Y(i  ^V}c8 P| O,PTY^  lxsn(- j :X*$U
~aQ 说明：透镜系统 +lplQh@RB j
D kBe-`  Nn#;Kjul. 说明：样品结构 yQcIfl]f 2WK c;?  m)l'i!Y Np"~1z.(b 说明：探测器 I:6H65(& &>f]  J
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 8,@0~2fz# y[{}124 结果：3D光线追迹 CzDV^Iv;Q{ @?JFqwq!  B ({g|}|G+ V]Rt[l]  m Ce"=[ WES$B7 y 结果：光线追迹 hnimd~E52k (u4'*[o\t  W m&* I@oSRB 结果：光线追迹衍射级数 []jbzVwS2 <v 6W
l\  704_ehrlE a>Wr2gPko 结果：场追迹采样平面 KV)if' U 7''; w  Q@1SqK#-DQ 8<x&
Xd 结果：场追迹焦平面 4,0 8`5{ Y P,>vzW  hSz_e T>pyYF1Q 结果：减小光栅周期 aoQ$"P F9
6zi 5 #2 3 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 |- <72$j 0|<9eD \I=
 34QW^{dgE ^T*!~K8A V r@tSc&  S17;;w0 ~Ajst!Y7= t3AmXx 文档和技术信息 {+]tx46$
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