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光学测量＞显微 e%6QTg5# a6H%5N 任务/系统视图 yBRC *0+Vy 4s M.C9W  ~v83pu1!2s KU;9}!# 亮点 875o d I l.K"ll  dTtSUA|V7"
r GkyGz8> 显微镜系统中光栅的全矢量分析 `"~%bS 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 Tf)*4O 4@' 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 c(%|: P^ ipILG4 说明：光源 i?~3*#IpD }75e:w[  +"6`q;p3) qFNes)_r  = f i$}>\ qw8Rlws% 说明：透镜系统 fX+ O[j L6LZC2N+2  \L\b $4$d 说明：样品结构 G9 :l'\ $kKjgQ S(  yZ`wfj$Jj MS]r:X6 说明：探测器 B UR*n;V` ]q-Y }1di8  9K&:V(gmw
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 JG,%qFlk a A TA9V 结果：3D光线追迹 o lxByzTh> JZ#[
2mLh  N !|w o: Yuc> fFA  J")#I91 4H-'Dr=G 结果：光线追迹 X|8c>_} ##o#eZq:"  FE{FGM q S+2(f> Z 结果：光线追迹衍射级数 7!$^r$t @]#1(9P  # V }IvQl| e!r-+.i( 结果：场追迹采样平面 @<Yy{ ~L| ,u
g@f-T  FEVlZ<PW3I 2[;_d;oB @ 结果：场追迹焦平面 C/&-l{7 Yd y9  XGMiW0j0B $2el&I 结果：减小光栅周期 wuqJr:q*#
p[lA\@l[ 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 rc>6.sM
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