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光学测量＞显微 >u J/TQU #~qAH J< 任务/系统视图 H^1gy=kdj +Zk,2ri  1@X gTL4 +pqM ^3t|y 亮点 NHX>2-b ;K: 8#XuV  > 8]j
`Iy4=nVb 显微镜系统中光栅的全矢量分析 TOI4 ?D] 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 AW5iV3 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 DlE_W+F [6(Iwz? 说明：光源 4 }KU>9YRA yZ}d+ 7T}  -pTI ? L&Qi@D0P  < 8 (?7QI <rK=9"$y(t 说明：透镜系统 :,*eX' fH `hB1b["(  h5 @j`{ 说明：样品结构 ACBQ3 {w`:KR6o7  #A <1aQ J m e% 说明：探测器 a5`eyL[f 4?]oV%aP)  QV,E #(\5
zJ & b|L
 ^>r^3C)_- r25Z`X Z 结果：3D光线追迹 fB# XhO ,9/5T : 2  `"y{;PCt_ I
8Y*@$h  ^GXEJU 7U fCEz-TMW 结果：光线追迹 9d[qh kPu) k7 bl'zic  ,@Z_{,b ^Q h-(u ` 结果：光线追迹衍射级数 j|'R$ | q9}2  -gKpL\ B7 "Fp 结果：场追迹采样平面 \K`jCsT l`rC0k J]  8&a_A:h *PB/iVH%6 结果：场追迹焦平面 =l|>.\- tjb/[RQ  cCng5Nq,c |>s v8/! 结果：减小光栅周期 5
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29O ]S8 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 ], ?pe nu 7lh6o=
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