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光学测量>显微 J>|` cV,URUD 任务/系统视图 epe}^Pl oZw#Nd yIP
IA%dJ cFo-NI2 亮点 '!GI:U+g Wb$bCR#?< J]e&z5c ~d]7 Cl 显微镜系统中光栅的全矢量分析 /GNYv* 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 ~KvCb3~X 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 y+<HS]vyV
C5?M/xj 说明:光源 Qmn5-yiw1d 2q bpjm 0SYkDI %kT:"j(xW XFYl[?`G :7zI!edu 说明:透镜系统 L|Iq#QX| J.(_c'
r 7v_e"[s~ 说明:样品结构 8B5%IgA
-fv.ByyA h
!1c(UR 7BnP,Nd"W 说明:探测器
I._=q gsAO<Fy TM;)[R@ -mF9Skj
J\BdC]; ?CC6/bE-{ 结果:3D光线追迹 U ;/ )V Z:{Z&HQC ' wEP:} zc#`qa:0 bYfcn]N qA42f83 结果:光线追迹 SF7Kb `>Y }Z|a?J@CZm B5hGzplS !ibp/:x 结果:光线追迹衍射级数 %9K@`v- C*$/J\6xy .6*A~%-=[d FVHL;J]nf1 结果:场追迹采样平面 wFD.3! E4Sp^, P-C_sj A7 sgX~4W"J 结果:场追迹焦平面 *,(`%b[ W*0KAC`m 711z- nz(OHh!}u 结果:减小光栅周期 $FoNEr&q KK?}`o 随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 [":x 5R4 dN=L*1
ZO,]h9?4 Ugn"w E q/Q*1 :2?du 1DX=\BWp y~\z_') <> 文档和技术信息 b% F|VG o{qbbJBC tNjrd}8s mVxS[Gq J-U}iU| QQ:2987619807 ~[C m#c
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