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    [推荐]不同轮廓亚波长光栅的成像 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-09
    1. 摘要 Qn'Do4Le  
    b9Jah  
    亚光波长光栅在用傍轴光照射时仅产生一个衍射级，因此在这种情况下不会形成图像。 为了克服此问题，可以使用非傍轴照明。在本例中，高NA聚光透镜被用来为不同轮廓的光栅提供高聚焦照明，衍射场被另一个高NA物镜收集。 VirtualLab可以模拟这种成像过程，包括用傅立叶模态法精确模拟亚波长光栅。 k=1([x  
     (T:OZmEO.  
    2. ·建模任务 `!WtKqr%B  
    ?3 {&"  
    s\i:;`l:=5  
    3. 结果 i3#To}g5V  
    d5h]yIz^  
    G<n(\85X  
    4. 文件和技术信息 &J(+XJM%  
    IlQNo 1  
    .XDY1~w0  
    QQ：2987619807
     
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